Хотя были предприняты многочисленные попытки связать коэффициенты относительных чувствительностей различных газов с их физическими свойствами (наиболее вероятна корреляция с эффективным сечением ионизации), не существует универсальной зависимости, с помощью которой можно было бы определять величины коэффициентов относительных чувствительностей для любых вакуумметров. В табл. 4.1 приведены коэффициенты относительных чувствительностей (по отношению к азоту) для нескольких вакуумметров, полученные в различных исследованиях.

Таблица Коэффициенты относительной чувствительности по отношению к азоту для различных вакуумметров

 Для вакуумметров других типов наблюдается существенный разброс значений относительной чувствительности.

В заключение отметим, что ионизационный вакуумметр Байярда — Альперта, повсеместно используемый для измерений давления в диапазоне 10^-1—10^-8 Па, может быть отградуирован практически во всем этом диапазоне с точностью, превышающей ±10%. Относительные чувствительности для различных газов могут быть определены на основании известных данных с разумной степенью достоверности.

Использование модулятора Редхеда позволяет снизить измеряемое этими вакуумметрами предельное давление на порядок или два, но за счет ухудшения точности измерений. На практике этой точности обычно вполне достаточно, поскольку ошибки возникают главным образом из-за неизвестного состава остаточного газа. При использовании вакуумметров этого типа необходимо их тщательно обезгаживать, а также использовать минимальный эмиссионный ток для уменьшения эффекта откачки.

Другие ионизационные вакуумметры, такие, как экстракторный и магнетронный, способны измерять более низкие давления, однако их производство довольно ограничено и, кроме того, они относительно дорогие. Эти вакуумметры не годятся для измерения давлений, превышающих 10^-4 Па, что, естественно, ограничивает область их применения. Кроме того, градуировать их довольно сложно.

Основными недостатками ионизационого вакуумметра являются относительность его измерений, зависимость чувствительности от состава газа, а также возможность взаимодействия активных газов с элементами вакуумметра, что приводит к снижению точности измерений. Вакуумметры, использующие эффект переноса механической энергии молекулами газа, свободны от этих недостатков.

Однако сверхвысоковакуумные вакуумметры этого типа имеют прецизионную конструкцию и усложненную электронную систему управления, что ограничивает их использование для рутинных измерений. Поэтому они находят применение главным образом в качестве эталонов при градуировке других вакуумметров.