Этот метод наиболее часто применяется в сверхвысоковаку-умных системах, поскольку в этих системах обычно имеется по крайней мере один чувствительный ионизационный вакуумметр. Вакуумометрический метод представляет собой простой и быстрый способ отыскания течей; его чувствительность ограничена только чувствительностью контрольно-измерительной аппаратуры. Другими словами, если требуемое предельное давление в непрерывно откачиваемой вакуумной системе соответствует рабочему диапазону вакуумметра, то с помощью этого прибора, в принципе, может быть обнаружена любая течь, способная вызывать увеличение предельного давления. Таким образом, в большинстве случаев использование этого метода вполне достаточно для проверки системы на герметичность.

Для обеспечения повышенной чувствительности в качестве пробного необходимо использовать такой газ, который при замещении воздуха обеспечивает максимальное изменение сигнала, регистрируемого вакуумметром. Как уже отмечалось в предыдущем разделе, этот эффект зависит не только от относительных чувствительностей вакуумметра по отношению к воздуху и пробному газу, но также и от быстроты их удаления из системы. Это, в свою очередь, зависит от типа используемого в системе насоса. В типичном случае малых течей, когда выполняются условия молекулярного течения, давление в системе, откачиваемой диффузионным насосом, при замещении воздуха пробным газом изменяться не будет. Этот эффект объясняется тем, что и скорость натекания газа, и быстрота его откачки в первом приближении связаны между собой как корни квадратные из молекулярной массы газа, поэтому

(8.22)

Поскольку при замещении воздуха пробным газом изменения давления не происходит, в системах, откачиваемых диффузионным насосом, для обеспечения максимального кажущегося из-

менения давления в качестве пробного используется такой газ, чувствительность вакуумметра по которому максимально отличается от чувствительности по воздуху. Согласно табл. 4.1, для вакуумметра Байярда — Альперта использование гелия в качестве пробного газа вполне удовлетворяет указанному требованию. Для этих целей могут быть использованы и другие газы, например бутан, чувствительность вакуумметра по которому относительно азота составляет 4,46. Использование бутана в качестве пробного газа приводило к наилучшим результатам по сравнению со всеми другими газами.

Для больших течей относительная быстрота откачки различных газов становится существенной, поскольку вязкость газа зависит не только от корня квадратного из его молекулярной массы, но и от квадрата диаметра молекулы б. Чем больше в соответствии с обратной квадратичной зависимостью эта величина, тем меньше вязкость:

(8.23)

Откуда следует, что вязкостьзависит от молекулярной массы слабее, чем быстрота откачки. Поэтому относительное изменение показаний вакуумметра AG/p будет более значительным для больших течей, поскольку увеличение сигнала вакуумметра, вследствие более высокой чувствительности прибора по отношению к пробному газу, становится еще большим благодаря изменению скорости откачки пробного газа.