Как известно, диффузионные и турбомолекулярные насосы в основном неселективны, т е откачивает все газы одинаково хорошо. Криогенные насосы также откачивают вое газы, но в случае гелия и водорода большую роль играет температура криопанели и свободные "места" для конденсации этих молекул. Магниторазрядные насосы обнаруживают селективность откачки, их быстрота откачки зависит от химической природы и состава откачиваемого газа: химически активные газы (азот,кислород, оксиды углерода) поглощаются, образуя с титаном устойчивые соединения; тяжелые инертные газы (аргон, ксенон, криптон) "замуровываются" под слоем распыленного титана; легкие инертные газы (гелий и неон) легко диффундируют через слой титана в обе стороны; водород диффундирует в титановый катод, образуя твердый раствор,но легко освобождается при нагревании; метан образуется в насосе на поверхности титана и откачивается после диссоциации в разряде.

В случае смесей водород-аргон даже небольшая концентрация аргона способствует обильному распылению гитана, а водород образует с титаном гидрид титана; образовавшийся в насосе на поверхности титана метан откачивается после диссоциации в разряде.

Несколько слов о составе откачиваемых газов. Обычно это смесь; состоящая в основном из паров воды, водорода, оксидов углерода. Все насосы справляются с ней хорошо. В случае же проведения определенных технологических процессов это может быть водород, водяной пар, углеводороды или оксид углерода.

Наиболее универсальными являются диффузионный и турбомолекулярный насосы; магниторазрядные насосы наименее универсальны, и их лучше не использовать для откачки инертных газов и углеводородов; криогенные насосы плохо откачивают водород и гелий.

У диффузионных и турбомолекулярных насосов, являющихся газоперекачивающими, в отличие от магниторазрядных нет "памяти" по газам. При работе магниторазрядных насосов ионы остаточного газа проникают в катод, а при последующем распылении выделяются. В процессе нагревания катода освобождаются растворенные там водород, гелий и неон

Криогенные насосы имеют "память", Отличную от "памяти" магниторазрядных насосов. У них уменьшается скорость откачки по водороду по мере заполнения криопанели, а в случае аварии все сконденсировавшиеся газы испаряются с панели, температура которой повышается.