При прямом и формальном сопоставлении зависимостей S = f(p) для типичных диффузионных насосов, приводимых разными фирмами , создается представление о существенном различии диапазонов рабочих давлений этих насосов.

Неформальный анализ, однако, показывает, что дело заключается не в действительно резком различие зависимостей S =f(p) диффузионных насосов различных типов,а в неодинаковых подходах к форме представления этих зависимостей

Рис 4 2 Зависимость быстроты действия S of давления на входе р для диффузионных насосов разных типов: а -НВДМ (СССР); б - Diffstak (Edwards, Великобритания); в - Crystal (Alcatel, Франция); г - UT (Ulvac, Япония)

Поясним это обстоятельство. Согласно общим физическим соображениям и литературным данным, диффузионный насос должен иметь определенную быстроту действия при любом малом входном давлении, если под быстротой действия в данном случае принимать скорость захвата рабочей струей диффузионного насоса определенного объема откачиваемого газа в единицу времени.

Это вполне понятно, поскольку вероятность захвата струей частицы откачиваемого газа при молекулярном режиме его течения не может зависеть от частоты попадания (однозначно связанной с входным давлением) частиц в струю. С учетом этого обстоятельства некоторые фирмы представляют зависимость S = f(p) в виде, показанном на рис 4 26, хотя измеряемая по стандартной методике быстрота действия снижается в области малых давлений (см.рис 4 2а).

Такой подход включен в стандарты европейских стран. Реальная S = f(p), построенная на основании данных измерения по стандартной методике,в некоторых информационных материалах дается пунктиром Сем.рис.4.2а,в) Наличие идеально ровного участка (см.рис.4.2а,б,в) также является упрощением и идеализацией реальной зависимости S = f(p); для диффузионных насосов типично, например, увеличение быстроты действия в о бласти наибольших рабочих давлений Сем.рис.4.2г)

Вне зависимости от особенностей стандартизованной измерительной камеры измеряемая быстрота действия диффузионных насосов асегда уменьшается в диапазоне малых давлений (см.рис 4 2а), поскольку при небольшом входном давлении поток, проходящий через потокомер, становится соизмерим с неизмеряемый потоком газовыделения и натекания, всегда имеющим место в любой вакуумной системе. Чем меньше давление, тем больше относительная доля такого потока, и, следовательно, меньше доля потока, регистрируемого потокомером.

В связи с этим для определения реальной быстроты действия в фор мулу (4.1) необходимо ввести поправку, учитывающую неизмеримый поток (поток, минующий потокомер). Величина неизмеряемого потопа газовыделения и натекания связана с реальной (или полной) быстротой действия Sp насоса и предельным давлением р0 (давлением, которое достигается в измерительной камере при отсутствии потока извне) простым выражением.

(4 3)

В свою очередь, измеряемый по известным методикам поток Oн (поток, проходящий через соответствующий клалан-натекатель потокомера) связан с входным давлением и быстротой действия аналогичным выражением

(4.4)

где р - входное давление в измерительной камере Сто же, что и в формуле (4.1); Sи - быстрота действия, рассчитываемая по (4.1).

Учитывая, что откачиваемый насосом общий газовый поток складывается из потоков газовыделения и натекания и потока, специально подаваемого через клапан-натекатель, имеем

(4.5)

или С4.6).

откуда находим выражение для определения реальной быстроты действия насоса

(4.7)

в котором все величины определяют экспериментально в процессе испытаний.

Вполне понятно, что при больших давлениях неизмеряемые потоки газовыделения и натекания значительно меньше измеряемых потокомером, и соответственно ошибки испытаний малы. В частности, требование предварительной откачки измерительной камеры до давления 0,1р, при котором будет измеряться поток (и соответственно определяться быстрота действия), свидетельствует о том, что неизмеряемый поток газовыделения и натекания меньше измеряемого потока, по крайней мере, в 10 раз.