Прогрев необходим для сверхвысоковакуумных систем. Во время прогрева десорбировавшиеся газы откачивается вакуумным насосом.

Магниторазрядные насосы идеально подходят для прогреваемой системы. Прогревается вся система, включая работающий насос. Магниты, установленные вокруг магниторазрядного насоса, являются эффективными тепловыми экранами, которые замедляют нагрев и охлаждение насоса.

Турбомолекулярные насосы должны быть расположены за пределами зоны прогрева. Они прогревается вместе с присоединенными трубопроводами отдельными рубашками до температуры не выше 100°С. Статор наcoca прогревается быстро, а ротор находится как бы внутри вакуумной изоляции и прогревается только за счет излучения. Эта температура прогрева обеспечивает такое тепловое расширение материалов, что ротор и статор не будут соприкасаться друг с другом.

Диффузионные насосы не прогреваются, они работают при прогреве вакуумной системы. Азотная ловушка включается в зону прогрева и заполняется после прогрева.

Крионасосы нельзя прогревать, и они должны находиться вдали от зоны прогрева, чтобы тепло не достигло криопанели, в противном случае это приведет к десорбции сконденсировавшихся газов и срыву работы насоса. Если осуществить прогрев 90% обращенной в вакуум площади (а прогрев уменьшает газовыделение нержавеющей стали в 1000 раз), то непрогретая часть даст такой поток газовыделения, что прогрев окажется бесмысленным.