Также весьма эффективно использование в этом случае сублимационных насосов, которые, к сожалению, не способны откачивать инертные газы. Современные автономные криогенераторы компактны и обеспечивают высокую скорость откачки любых газов к чистоту получаемого вакуума. Однако стоимость их довольно высока. Эти насосы могут использоваться совместно с сорбци-онными, ионными или двухступенчатыми ротационными насосами, снабженными ловушками. Поскольку время работы последнего насоса для получения требуемого форвакуума невелико, вероятность попадания в откачиваемую систему следок углеводородов мала.

В заключение следует еще раз подчеркнуть, что идеального насоса, способного осуществлять откачку от атмосферного давления до 10^-8 Па, пока не существует. Тем не менее современные вакуумные насосы, выпускаемые промышленностью и используемые в соответствующих комбинациях, позволяют получить сверхвысокий вакуум достаточно легко и быстро в установках, в которых натекание газа с поверхности в результате десорбции и других процессов невелико.