1) монтаж должен быть последовательным, элемент за элементом по схеме вакуумной системы от одного несущего элемента к другому;

2) монтаж должен заканчиваться на том элементе, непосредственно на котором устанавливают компен­сатор:

3) если компенсатор установлен в середине коммуни­кации между несущими элементами, то вначале монти­руют более короткую и жесткую часть коммуникации, затем более длинную и гибкую, после чего устанавлива­ют компенсатор;

4) при наличии нескольких линий откачки, например основной и байпасной соответственно с несколькими компенсаторами, вначале монтируют основную линию откачки, затем байпасную;

5) дополнительные крепежные элементы, такие, как хомуты на трубопроводной коммуникации, устанавли­вают без жесткой затяжки, оставляя некоторую свобо­ду перемещения элемента, при установке соответствую­щего элемента системы. Окончательная затяжка допол­нительных крепежных элементов производится после окончательной затяжки всех фланцевых соединений дан­ной линии.

При сборке желательно соблюдать последователь­ность монтажа не только в пределах между двумя несу­щими элементами, но и установки в целом. В процессе сборки соединения элементов вакуумной системы прове­ряются на герметичность. Существуют два способа про­верки на герметичность — проверка установки в целом после сборки всей вакуумной системы и поэлементно или отдельными узлами непосредственно в процессе сборки вакуумной системы. Для крупногабаритных уста­новок с разветвленной вакуумной системой с большим количеством элементов предпочтение следует отдать второму способу. В этом случае монтаж соединительных коммуникаций начинают с низковакуумной части уста­новки с тем, чтобы низковакуумный насос установки ис­пользовать в качестве вспомогательного при контроле герметичности. Узлы и элементы вакуумной системы в отдельности могут быть испытаны на герметичность с большей чувствительностью, чем те же узлы и элемен­ты в составе вакуумной системы. Если ib процессе сбор­ки сложной вакуумной системы доступ к какому-либо элементу становится затруднительным, то необходимо проверить герметичность соединения этого элемента с соседними до постановки других элементов вакуум­ной системы.

Небольшие и простые установки обычно проверяют на герметичность после сборки всей вакуумной системы. К небольшим и простым установкам следует относить такие, в которых после сборки всей вакуумной системы имеется свободный доступ к любому элементу вакуум­ной системы для его монтажа и демонтажа.

Наибольшее время в сборке вакуумной системы отни­мает герметизация соединений. Правильно выбранные последовательность и усилие затяжки фланценых соеди­нений обеспечивают быстрое, легкое и надежное уплот­нение. Эластомерные уплотнители, например резиновые, чаще всего плотно входят в предназначенную для них

канабку ё одном из фланцев соединения, что исключает его случайное выпадение при установке элемента на ме­сто. Фланцевые соединения с резиновым уплотнителем рекомендуется уплотнять в следующей последовательно­сти. Устанавливают и закручивают вручную все болты до соприкосновения их с фланцем. Затягивают два диаметрально противоположных болта, следя за тем, чтобы фланцы оставались параллельными. При этом натяг других болтов ослабевает. Как только они осво­бодятся, начинают затягивать другие диаметрально противоположные болты. По мере уплотнения соедине­ния уменьшается освобождение болтов, расположенных рядом со стягиваемыми.

Фланцевые соединения с резиновым уплотнителем, рассчитанные на смыкание фланцев, затягивают до плот­ного прилегания фланцев. При затяжке фланцевых сое­динений с резиновым уплотнителем, работающих с за­зором между фланцами, следят за тем, чтобы зазор был равномерным по всему соединению и усилие затяж­ки всех болтов было одинаковым.

Последовательность затяжки фланцевых соединений с металлическим уплотнителем несколько иная. Уплот­нитель вкладывают во фланец с канавкой. Если фланец расположен вертикально или горизонтально канавкой вниз и уплотнитель выпадает из углубления во фланце, то его слегка деформируют так, чтобы он не выступал из углубления и не выпадал из него при аккуратном переворачивания фланца. При соединении фланцев вы­ступ фланца с «зубом» должен войти в углубление фланца с канавкой. Вставляют болты и затягивают их вручную до соприкосновения с поверхностью фланца. Аналогично затяжке фланцевого соединения с резино­вым уплотнителем затягивают фланцевое соединение до упора выступа по наружному диаметру фланца с «зу­бом» во фланец с канавкой.

Дальнейшая затяжка соеди­нения ведет к упругой деформации фланца и неупругой деформации уплотнителя, к созданию герметичного уплотнения. В этот момент рекомендуется последова­тельная по кругу затяжка рядом расположенных болтов, причем затяжку следует производить поворотом гайки, удерживая болт другим ключом. Каждую гайку повора­чивают на половину или три четверти оборота. В случае болтового соединения с мелкой резьбой угол поворота в 1,2—1,5 раза больше.

При круговой затяжке болты с диаметрально проти­воположной стороны несколько ослабевают. Рекомен­дуется время от времени подкручивать их вручную до соприкосновения с фланцем. По мере возрастания уси­ления затяжки угол поворота гайки при каждом шаге затяжки уменьшают до половины и даже четверти и меньше оборота. Опасна чрезмерная первоначальная затяжка первых болтов, так как при этом возникает чрезмерная местная деформация уплотнителя, которая при круговой затяжке будет перемещаться в виде волны с образованием складки на уплотнителе при завершении первого круга затяжки. В этом случае усилия в начале и конце круга затяжки будут существенно разными.

Наибольшую трудность, в особенности при повтор­ных сборках установки, представляет собой герметиза­ция штуцерных соединений с металлическим уплотните­лем, где усилие на уплотнитель создается с помощью одной гайки. В таких соединениях наиболее вероятно обнаружение течи после затяжки. Течь может оставать­ся даже при очень больших усилиях затяжки. Чаще все­го это усилие обусловлено не воздействием на уплотни­тель, а силой трения, возникающей в резьбовой паре из-за окисления металла. Смачивание резьбы легкоиспаряющимся растворителем, например спиртом или ацето­ном, уменьшает силу трения и ликвидирует характерный резкий скрип.

В последнюю очередь устанавливают стеклянные ма­нометрические преобразователи, электрические вводы и всевозможные датчики. По окончании монтажа вакуум­ной системы приступают к монтажу системы охлажде­ния. Монтаж системы охлаждения ведется металличе­скими трубками со штуцерными соединениями. Переход­ные участки могут быть выполнены дюритовыми шлан­гами. Поверх дюритового шланга в месте его соединения с металлической трубкой устанавливается специальный бандаж или делается бандаж из мягкой про-волоки. Пе­реходные участки с дюритовыми шлангами крайне неже­лательны для стационарных установок.

Производя монтаж системы охлаждения, не следует перетягивать штуцерные соединения, так как большие усилия, развиваемые на резьбовой паре, могут привести к преждевременному выходу из строя штуцерною соеди­нения. Тем более, что для жидкости не требуется высо­кой степени герметичности.

По окончании монтажа системы охлаждения прове­ряют ее герметичность подачей воды. Не допускается применение замазок и закрашивания мест течи воды по штуцерным соединениям. Они обязаны обеспечивать необходимую герметичность по воде без дополнительных мер герметизации. Если течь все-таки имеется, необхо­димо проверить целостность штуцерного соединения и заменить уплотнитель.

Установкой необходимых нагревателей, кожухов, размещением контрольно-измерительных приборов и соединением их шлангами с датчиками, подачей элек­тропитания заканчивается монтаж вакуумной установки.