В основу получения вакуума могут быть положены два принципа первый — удаление газа из откачиваемого сосуда за пределы вакуумной системы, второй — связы­вание газа в вакуумной системе. Первый принцип реали­зован в газоперемещающих насосах.

Перемещение массы газа можно производить перио­дически, отдельными порциями, и непрерывно.

Вакуумные насосы, которые откачи­вают газ отдельными порциями в результате периодиче­ского изменения объема и положения рабочей камеры, называются объемными вакуумными насосами. Объем­ными вакуумными насосами являются только механи­ческие насосы, т. е. такие насосы, откачивающее дейст­вие которых основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса.

Для непрерывного удаления нейтральных молекул газа необходимо иметь тело, которое постоянно увлекало бы и перемещало газ. Таким телом может быть непре­рывно движущаяся твердая поверхность или струя жид­кости, пара или газа. При соударении с движущейся твердой поверхностью и в результате внутреннего трения молекулы газа приобретают преимущественное направ­ление движения.

Механические насосы, откачивающее действие которых основано на увлечении удаляемого га­за непрерывно движущимися твердыми поверхностями, получили название молекулярных, так как движущиеся части насоса воздействуют на отдельные молекулы.

Суммарная кинетическая энергия направленного дви­жения, приобретаемая потоком молекул, определяет то наибольшее давление в выходном сечении насоса, при котором насос еще может осуществлять откачку, т. е. осуществлять перенос массы газа со стороны с низким давлением на сторону с более высоким давлением газа. Это последнее давление называется выпускным давле­нием насоса.

Наибольшее выпускное давление является одной из основных характеристик не только молекуляр­ных, «о и других типов насосов, в которых осущест­вляется перемещение газа, в частности струйных насосов.

Вакуумные насосы, в которых реализуется второй принцип создания вакуума, получили название сорбционных насосов. Газ в сорбционных насосах может свя­зываться геттером1, может сорбироваться и конденсиро­ваться на охлаждаемой поверхности.

Классификация вакуумных насосов по принципу дей­ствия приведена на рис. 1-3.

Область применения вакуумных насосов определяется их параметрами (характеристиками). К основным ха­рактеристикам вакуумных насосов относятся предельное остаточное давление, быстрота действия, производитель­ность, наибольшее давление запуска, наибольшее рабо­чее давление и уже упоминавшееся наибольшее выпуск­ное давление.

Рис. 1-3. Классификация вакуумных насосов.

Предельное остаточное давление вакуумного насо­са— это то наименьшее давление, которое может быть достигнуто в определенных условиях с помощью данного насоса.

Быстрота действия вакуумного насоса есть быстрота откачки, получаемая во входном сечении насоса при его работе. В свою очередь

быстрота откачки есть объем газа при данном давлении, откачиваемый в единицу времени, причем быстрота откачки всегда относится к тому сечению, в котором измерено давление. Размер­ность быстроты откачки—л/с, м3/ч и другие производ­ные от них единицы.

Производительность вакуумного насоса характеризу­ет расход газа во входном сечении насоса при данном давлении и выражается в м3-Па/с (или л-мкм рт. ст/с) и в других единицах потока. Легко показать, что про­изводительность насоса есть произведение быстроты откачки на давление, при котором она измерена.

Наибольшее давление запуска вакуумного насоса — это то наибольшее давление в его входном сечении, при котором насос может начать работу.Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса — это то наибольшее давление в его входном сечении, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия.

Предельное остаточное давление, наибольшее давле­ние запуска, наибольшее рабочее давление и наибольшее выпускное давление выражаются в единицах давления газа Па (паскалях) и в других производных единицах.