На рисунке приведена схема вакуумной установки к лабораторной работе. Необходимое предварительное разрежение порядка 5*10-6
тор обеспечивается с помощью системы механического и диффузионного
насосов. Пары масла, которые могут проникнуть в электроразрядный насос,
улавливаются полупроводниковой ловушкой.
Перед запуском механического насоса следует убедиться
в том, что вентиль 4 закрыт; включение механического насоса необходимо
производить с лабораторного пульта управления. Через 5—10 мин можно
включить электронагреватель диффузионного насоса, затем открыть вентиль 4
и включить полупроводниковую ловушку.
После достижения давления порядка 10-4—10-5
тор можно подготавливать насос НЭМ-300 к работе. Этот процесс
называется тренировкой насоса. В начале работы насоса через него
протекает большой разрядный ток, и в результате газоотделения с
электродов происходит увеличение давления. Поэтому насос включают
несколькими последовательными подачами напряжения на электроды. При этом
выделяющиеся газы откачиваются системой насосов предварительного
разрежения.
Рис. 107. Схема лабораторной установки к работе с насосом НЭМ-300:
1 — масляно-ротационный насос
ВН 2; 2 — паромасляный диффузионный насос Н-5С: 3 — переходный вакуумный
объем; 4 — высоковакуумный вентиль, 5 — вакуумметр ВИТ-1А; 6 —
манометры ЛТ-2 и ЛМ-2; 7 — полупроводниковая ловушка ТВЛ-300; 8 —
манометр ИМ-12; 9 — насос электроразрядный магнитный НЭМ 300, 10 —
вакуумметр ВИ-12; 11 — блок питания к магниторазрядиому насосу БПНЭМ
300, 12 — пульт включения вспомогательных насосов
Необходимо помнить, что насос работает при напряжении
на электродах 7 кв, поэтому перед запуском насоса необходимо убедиться в
надежном заземлении корпуса насоса и источника питания.
В процессе откачки объема насосом НЭМ-300 измерить
зависимость давления от времени откачки вплоть до установления в системе
предельного вакуума. Затем определить быстроту откачки насоса НЭМ-300
по известному откачиваемому объему и зависимости давления от времени.
Если результаты экспериментов утверждены преподавателем, необходимо
выключить питание насоса НЭМ-300 и электронагреватель диффузионного
насоса. После охлаждения стенок насоса до температуры 50° С выключить
механический насос.
|