Цель работы. Ознакомиться с системами безмасляной откачки от атмосферы до высокого вакуума на примере магниторазрядного насоса, цеолитового агрегата и водоструйного насоса, изучить порядок работы с ними, освоить работу со сверхвысоковакуумным ионизационным манометром.

В лабораторную установку (рис. 98) входят следующие элементы. 1. Электроразрядный сорбционный насос ЭСН-1. 2. Постоянный магнит насоса. 3. Блок питания насоса ВС-ЗКВ. 4. Сверхвысоковакуумный манометр ИМ-12. 5. Манометры ЛМ-2 и ЛТ-2 для измерения давления у насоса ЭСН-1. 6. Вакуумметр ВИТ-1А. 7. Стеклянная ловушка для жидкого азота. 8. Кран для отсоединения насоса ЭСН-1 от линий форвакуумной откачки через агрегат ЦВА-01-2. 9. Кран для отсоединения насоса ЭСН-1 от линий откачки через насосы ЦВЛ-100 и ВН-461. 10. Диффузионный насос Н-1С. 11. Манометры ЛМ-2 и ЛТ-2 для измерения давления у насоса Н-1С. 12. Полупроводниковая ловушка ТВЛ-100. 13. Выпрямитель полупроводниковой ловушки. 14. Масляно-ротацион-ный насос ВН-461. 15. Цеолитовый агрегат ЦВА-01-2. 16. Манометр ЛТ-2 для измерения давления у агрегата ЦВА-01-2. 17. Водоструйный насос ВВН-2-1. 18. Мембранный манометр водоструйного насоса. 19. Стеклянный вентиль механического насоса.

Содержание работы.

1. При закрытом кране, отделяющем агрегат ЦВА-01-2 от насоса ЭСН-1, ввести в действие водоструйный насос ВВН-2-1. Измерить по мембранному манометру предельный вакуум при работе ВВН-2-1.

2. Ввести в действие цеолитовый агрегат, осуществляя по инструкции попеременно регенерацию и охлаждение двух плеч ЦВА-01-2 жидким азотом. Измерить вакуум.

3. Одновременно с выполнением работ 1. и 2. включить механический и диффузионный насосы с ловушкой ТВЛ-100, при этом должен быть закрыт кран, отделяющий масляные насосы. Измерить предельный вакуум масляной линии откачки.

4. Открыть кран для соединения насоса ЭСН-1 с цеолитовой линией откачки для получения необходимого разрежения запуска ЭСН-1. В виде исключения допускается откачка насоса ЭСН-1 через масляную линию откачки при охлажденных ловушках.

 5. Если масляная линия откачки в дальнейшем не используется, выключить насос Н-1С и затем ВН-461, предварительно закрыв отделяющий их кран.

6. Заполнить жидким азотом стеклянную ловушку, отметить понижение давления и после установления температурного режима (прекращение бурного кипения азота) измерить предельный вакуум в выключенном насосе ЭСН-1, создаваемый цеолитовым агрегатом и азотной ловушкой.

7. Включить электроразрядный насос ЭСН-1 через блок питания ВС-ЗКВ, сопоставить с давлением начальный ток разряда по миллиамперметру блока питания.

8. Закрыть кран для отсоединения насоса ЭСН-1 от цеолитовой линии откачки. Отметить начало постепенного понижения давления сравнительно с ранее измеренным, что доказывает работу сорбционного механизма откачки.

9. Сравнивая показания манометра ЛМ-2 и миллиамперметра блока ВС-ЗКВ, произвести градуировку тока разряда по давлению.

10. При понижении давлений ниже Ю-6 тор включить вакуумметр ВИ-12, тщательно соблюдая инструкцию. Сравнить показания

(взаимная градуировка) манометров ЛМ-2 и ИМ-12 по приборам ВИТ-1А и ВИ-12 в перекрываемом диапазоне давлений от 2*10^-6 до 10^-7 тор.

12. Получить в объеме насоса ЭСН-1 и стеклянной ловушки предельный вакуум, обеспечиваемый электроразрядным сорбционным насосом без прогрева. В процессе понижения давления снять зависимость тока насоса ЭСН-1 от давления по манометру ИМ-12 при давлениях ниже 10^-6 тор.

Предупреждения.

1. Совместная эксплуатация цеолитовых и титановых насосов с масляными насосами нежелательна и допускается в особых случаях только с использованием охлаждаемых ловушек.

2. При работе с водоструйным насосом нужно следить за нормальным протоком воды; при повышении давления в водопроводе возможно переполнение насоса ВВН-2-1 и попадание воды в стеклянную систему.

3. Соблюдать осторожность при заливке в ловушки жидкого азота во избежание холодных ожогов.

4. Соблюдать осторожность в обращении со стеклянной системой установки, особенно при повороте кранов.

Расход времени. Норма времени на работу составляет 4 ч со следующим распределением.

1. Ввод в действие цеолитовой и масляной линий откачки 1 ч 30 мин.

2. Ввод в действие электроразрядного сорбционного насоса и градуировка его тока по манометру ЛМ-2 1 ч.

3. Получение предельного вакуума с насосом ЭСН-1 и работа с манометром ИМ-12 составляют 1 ч 30 мин.