Цель работы. Ознакомиться с работой магниторазрядных насосов серии НЭМ с ионным распылением титана в разряде с холодными электродами на примере насоса НЭМ-300.

Аппаратура. В лабораторную установку (рис. 100) входят следующие элементы. 1. Масляно-ротационный насос ВН-2.2. Паромасляный диффузионный насос Н-5С. 3. Переходный вакуумный объем. 4. Высоковакуумный вентиль. 5. Насос электроразрядный магнитный НЭМ-300. 6. Манометры ЛТ-2 и ЛМ-2. 7. Вакуумметр ВИТ-1А. 8. Манометр ИМ-12. 9. Вакуумметр ВИ-12. 10. Полупроводниковая ловушка ТВЛ-500. 11. Блок питания к магниторазрядному насосу БПНЭМ-300.

Содержание работы.

1. Включить механический насос, открыть высоковакуумный вентиль, включить полупроводниковую ловушку и паромасляный насос.

2. При давлении порядка 10^-4—10^-5 тор произвести тренировку насоса НЭМ-300 последовательными включениями тока разряда и выключениями его для откачки выделяющихся газов.

3. По окончании тренировки и достижении стационарного давления закрыть вентиль паромасляного насоса и отметить понижение давления.

4. Измерить зависимость от времени давления, уменьшающегося до предельного вакуума непрогреваемого насоса НЭМ-300.

5. Считая зависимость давления от времени экспоненциальной, определить быстроту откачки насоса НЭМ-300 по известному откачиваемому объему.

Предупреждения. 1. При откачке насоса НЭМ-300 масляными насосами обязательно включение охлаждаемой ловушки. 2. По окончании работы закрыть вентиль паромасляного насоса.

Расход времени. Норма времени на выполнение работы составляет 4 ч со следующим распределением. 1. Включение масляных насосов и предварительная откачка 1 ч 30 мин. 2. Тренировка насоса НЭМ-300 1 ч. 3. Откачка насосами НЭМ-300 до предельного вакуума 1 ч 30 мин.