Рис. 105. Схема лабораторной установки к работе с насосом ЭСН-1 и агрегатом ЦВА-01-2: 1 — блок питания насоса ВС-ЗКВ; 2 — вакуумметр ВИ-12; 3 — манометр ИМ-12; 4 — ВИТ-1А; 5 — манометры ЛТ-2 н ЛМ-2; 6 — стеклянная ловушка для жидкого азота; 7 — стеклянный кран для отсоединения насоса ЭСН-1 от линии откачки через насосы ЦВЛ-100 н ВН-461; 8 — манометры ЛМ-2, ЛТ-2; 9—манометр ЛТ-2; 10 — полупроводниковая ловушка ТВЛ-100; 11—выпрямитель полупроводниковой ловушки; 12 — диффузионный насос ЦВЛ-100; 13 — масляно-ротациоиный насос ВН-461; 14—стеклянный вентиль механического насоса; 15 — пульт управления вспомогательными насосами, 16—мембранный манометр водоструйного насоса; 17 — водоструйный насос ВВН-2-1; 18 — цеолитовый агрегат ЦВА-01-2; 19 — стеклянный кран для отсоединения насоса ЭСН-1 от линии откачки через агрегат ЦВА-01-2; 20 — электроразрядный сорбционный насос ЭСН-1; 21 — постоянный магнит насоса.

Лабораторная работа выполняется следующим образом: перед включением насосов студентам необходимо ознакомиться с элементами вакуумной установки, расположением оборудования, проверить, закрыты ли вентили 19 и 7, т. е. разделены ли оба плеча откачки.

Затем нужно ввести в действие водоструйный и механический насосы. Для этого в первом случае нужно

открыть водопроводный кран, а во втором — включить насос с пульта управления. После достижения предельного разрежения на участках предварительной откачки (15 тор для водоструйного насоса и 10^-2 тор для механического) следует включить электронагреватель диффузионного насоса и питание полупроьодниковой ловушки, а на один из цеолитовых насосов надеть сосуд Дьюара с жидким азотом (это делают два студента в присутствии лаборанта). Провести сравнение изменения давления во времени в процессе откачки каждого плеча установки соответствующим насосом. Давление измеряют через каждые 3 мин откачки до установления предельного разрежения. Данные занести в таблицу.

Если масляную линию при дальнейшей работе не используют, необходимо выключить электронагреватель диффузионного насоса. Если же, по указанию преподавателя, откачку проводят с помощью диффузионного насоса, то прежде чем открыть кран, соединяющий масляные насосы с насосом ЭСН-1, необходимо ловушку наполнить жидким азотом.

При безмасляной откачке объема необходимо открыть кран 19, соединив насос ЭСН-1 с сорбционной линией откачки. Перед началом откачки системы с помощью электроразрядного насоса рекомендуется для более надежной работы этого насоса создать более высокое предварительное разрежение, которое получается с помощью заполнения стеклянной ловушки жидким азотом. Насос ЭСН-1 может начать работу и при более высоком давлении, порядка 2 • 10^-2 тор. Однако из-за возможного сильного разогрева насоса включать его при таком давлении не рекомендуется.

После установления в системе предельного вакуума порядка 10^-6—10^-7 тор необходимо проводить откачку только одним сорбционным насосом, для чего следует перекрыть высоковакуумный стеклянный кран.

Перед включением электроразрядного насоса нужно убедиться в том, что постоянный магнит надвинут на насос, а также проверить заземление откачнвающей системы, фланца насоса и блока питания: при возможном замыкании корпуса насоса на высоковольтный электрод прикосновение к насосу опасно для жизни.

При дальнейшем выполнении задания один из студентов осторожно отсоединяет систему предварительного разрежения, закрывая стеклянный кран, и в дальнейшем следит за уровнем жидкого азота в ловушке, так как уменьшение количества жидкого азота и размораживание стенок ловушки ведет к резкому увеличению давления в системе. Второй студент проводит градуировку тока разряда по давлению в системе для диапазона от 10^-4 до 10^-6 тор, сравнивая показания миллиамперметра, находящегося в блоке питания электроразрядного насоса, с показаниями вакуумметра ВИТ-1А, а в области давлений 10^-6—10^-7 тор и с показаниями вакуумметра ВИ-12.

После утверждения результатов преподавателем выключить питание насоса ЭСН-1; снять сосуд Дьюара с цеолитового насоса и надеть на него печь для прогрева (регенерации) цеолита. При этом нужно следить, чтобы форвакуумный вентиль был закрыт, а резиновая пробка, соединяющая объем насоса с атмосферой, открыта.