Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Особенности работы магниторазрядных насосов |
Примеры и лабораторные работы - Сорбционные средства откачки |
Насосы ЭСН-1 и НЭМ-300 обладают быстротой откачки при давлении 10-5 тор 10 и 300 л/сек соответственно. Оба насоса требуют предварительного разрежения при запуске (1 -2) •10-2 тор. Однако длительная работа при таком давлении нежелательна, так как в этом режиме на электродах выделяются сравнительно большие мощности и насос сильно разогревается, что может привести к выходу его из строя. Для насоса ЭСН-1 необходимо магнитное поле напряженностью 700—800 в, а для НЭМ-300 —8000 в. Для получения сверхвысокого вакуума необходимо эти насосы и откачиваемые объемы прогреть до температуры 400—450° С с одновременной откачкой насосом предварительного разрежения. Во время прогрева необходимо вести контроль за давлением, которое не должно превышать 5*10-2 тор. После прекращения прогрева и достижения разрежения 10-2—10-3 тор подается напряжение на электроды насоса. В первый момент происходит увеличение давления за счет десорбции газа с деталей насоса под действием разряда, и через электроды протекает большой разрядный ток. Если после включения магниторазрядного насоса высокая степень разрежения (10-8—10-10 тор) не достигается, необходимо проверить систему на герметичность и устранить возможное натекание в местах соединений. Вторая причина плохой работы насосов — недостаточное обезгаживание насоса и вакуумной системы. Магниторазрядные насосы очень чувствительны к загрязнению углеводородами. После 30—40 ч работы с механическим насосом без последовательно включенной ловушки возникновение разряда затруднено. Окисление материала катода приводит к тому, что в области давлений 10-7 тор разрядный ток заметно уменьшается. Иногда при работе насосов наблюдают короткое замыкание между электродами насоса, сопровождающееся сильным шумом. Замыкание обычно вызывается отслаивающимися пленками титана, и его можно устранить, пропуская значительный (порядка нескольких ампер) электрический ток при низком напряжении, для чего используют дополнительный источник питания, например низковольтный трансформатор.
При работе с магниторазрядными насосами следует помнить, что напряжение на электродах насоса 3—7 кв. Такое напряжение опасно для жизни, и поэтому при эксплуатации насосов необходимо соблюдать следующие правила техники безопасности. 1. Корпус насоса и источник питания должны быть надежно заземлены. 2. Высокое напряжение от блока питания на высоковольтные разъемы должно подаваться экранированным проводом с обязательным заземлением экрана. 3. Во время работы насоса не допускается снятие высоковольтных-разъемов.
|
= | |