Цель работы. Ознакомиться с конструкцией, принципом работы и правилами эксплуатации мощных сорбционно-ионных насосов с термическим испарением титана на примере насоса СИН-5-4.

Аппаратура. В лабораторную установку (рис. 97) входят следующие элементы. 1. Сорбционно-ионный насос СИН-5-4. 2. Пульт и блок питания СИН-М-2. 3. Переходный объем. 4. Пароструйный агрегат ВА-05-1 с насосом Н-5С. 5. Полупроводниковая ловушка ТВЛ-100. 6. Вакуумметр ВИТ-1А. 7. Манометры ЛМ-2 и ЛТ-2. 8. Блок питания полупроводниковой ловушки. 9. Масля-но-ротационный насос ВН-461. 10. Пульт включения вспомогательных насосов. 11. Высоковакуумный вентиль.

Содержание работы. Лабораторная работа состоит из основной и факультативной частей.

Основная часть. 1. Откачать камеру насоса СИН-5-4 вспомогательными насосами ВН-461 и Н-5С до давления начала работы СИН-5-4 (порядка 10^-5 тор). 2. Включить и прогреть насос СИН-5-4 согласно инструкции. При от-тренированном исходном состоянии насоса отдельные пункты программы прогрева по указанию преподаватетя можно не проводить (например, прогрев механизма подачи). 3. Включить испаритель и подачу проволоки с нужным интервалом подачи и отметить понижение давления до предельного вакуума СИН-5-4 с необезгаженной камерой (порядка 10^-7 тор). 4. Закрыть высоковакуумный вентиль к диффузионному насосу и выключить насос Н-5С. При этом в камере СИН-5-4 должно сохраняться низкое давление порядка 10^-7 тор, что свидетельствует о работе сорбционно-ионного механизма откачки. 5. По окончании этих операций выключить насос СИН-5-4, если не предусмотрено выполнение факультативного задания. При этом отметить число срабатываний механизма подачи.

В процессе работы можно наблюдать за подачей и испарением титановой проволоки с помощью смотрового перископа.

Факультативная часть работы заключается в выполнении одного из двух заданий по указанию преподавателя. 1. Исследование зависимости предельного вакуума от мощности разогрева титанового штабика, изменяемой посредством регулировки напряжения испарителя при закрытом высоковакуумном вентиле. 2. Измерение потока натекания атмосферного воздуха в камеру насоса СИН-5-4 при выключенных вспомогательных насосах методом измерения зависимости возрастания давления от времени.

Предупреждения. 1. При выполнении работы следить за протоком воды, охлаждающей камеру насоса СИН-5-4. 2. Не включать прогрев, испаритель и ионизатор насоса СИН-5-4, пока не достигнуто давление, разрешенное по инструкции.

Расход времени. На обязательную часть работы норма времени составляет 4 ч со следующим распределением. 1. Откачка вспомогательными насосами 1 ч. 2. Включение и прогрев СИН-5-4 1 ч 30 мин. 3. Сорб-ционно-ионная откачка и выключение 1 ч 30 мин. На выполнение каждого задания факультативной части необходимо дополнительно около 3 ч.