В системах сверхвысокого вакуума металлы находят широкое применение; из них изготовляются как различные конструктивные элементы самой вакуумной системы, так и специальное оборудование.

Выбор металлических материалов для элементов оборудования определяется спецификой их использования. Например, для изготовления сеток электронных ламп требуется тонкая проволока с высокой механической прочностью. Поэтому такие сетки изготовляются из молибдена или вольфрама. В то же время плоские электроды сложной конфигурации, как правило, изготовляют из более мягких металлов, легко поддающихся механической обработке, например никеля и железа. Металлы, предназначаемые для изготовления внутренних элементов вакуумных устройств, должны удовлетворять двум условиям: давление паров металла при рабочей температуре должно быть ниже необходимого предельного давления в вакуумной камере, а газовыделение не должно являться основным источником газа, поступающего в систему.

К металлу вакуумной оболочки предъявляются следующие требования: о н должен быть непроницаем по отношению к воздуху и не должен подвергаться коррозии в процессе отжига.