Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Прогреваемый насос ЭСН-1 и получение сверхвысокого вакуума |
Примеры и лабораторные работы - Вакуумные установки |
Цель работы. Ознакомиться с получением сверхвысокого вакуума в прогреваемых объемах с помощью безмасляных средств откачки, получить навыки измерения давлений ниже 10-8 тор. Аппаратура. В лабораторную установку (рис. 114) входят следующие элементы. 1. Масляно-ротационный насос ВН-461. 2. Диффузионный насос ЦВЛ-100. 3. Вакуумный вентиль. 4. Электроразрядный сорбционный насос ЭСН-1. 5. Откачиваемый объем. 6. Манометр ИМ-12. 7. Вакуумметр ВИ-12. 8. Манометр ЛМ-2. 9. Вакуумметр ВИТ-1А. 10. Печь с теплоизоляцией и нагревательными элементами. 11. Термометр на 500° С. 12. Автотрансформатор для регулировки тока нагревателя. 13. Полупроводниковая ловушка ТВЛ-100. 14. Блок питания ловушки. 15. Блок питания электроразрядного сорбционного насоса ВС-ЗКВ. Содержание работы. 1. Включить последовательно насосы ВН-461, ЦВЛ-100 и полупроводниковую ловушку ТВЛ-100 при открытом вентиле. 2. Получить Предельное разрежение, обеспечиваемое масляными насосами. 3. Включить нагреватели печи при закрытой ее крышке. 4. Постепенно (в течение 45—60 мин) поднять температуру печи до 450—480° С, регулируя ток нагревателя автотрансформатором и учитывая при измерении температуры время установления теплового равновесия. 5. При временном повышении давления в результате прогрева уменьшать ток нагревателя для ускорения откачки. 6. Включить насос ЭСН-1 и произвести его тренировку, включая и выключая ток разряда до установления стационарного давления. 7. Закрыть вентиль, отделяющий масляные насосы от насоса ЭСН-1, и отметить понижение давления в результате сорбционной откачки. 8. Пользуясь манометрами ЛМ-2 и ИМ-12, записать понижение давления в объеме во времени до достижения сверхвысокого предельного вакуума. 9. Предполагая функцию понижения давления экспоненциальной и считая объем равным 2 л, определить быстроту откачки насоса ЭСН-1. Предупреждения. 1. При предварительной откачке насоса ЭСН-1 масляными насосами обязательно включить ловушку, вымораживающую пары масла. 2. Перед прогревом объема и насоса ЭСН-1 извлечь из печи постоянный магнит насоса. 3. По окончании работы закрыть вентиль.
Расход времени. Норма времени на работу составляет 4 ч со следующим распределением. 1. Включение вспомогательных насосов и предварительная откачка 1 ч. 2. Включение нагревателя и прогрев насоса ЭСН-1 с откачиваемым объемом 1 ч. 3. Включение и тренировка насоса ЭСН-1 1 ч. 4. Получение предельного сверхвысокого вакуума 1 ч. |
= | |