Цель работы. Ознакомиться с различными процессами распыления, совершаемыми при высоком вакууме (термическое испарение веществ и нанесение тонких пленок, катодное распыление и травление металлов). Освоить приемы работы с промышленной установкой вакуумного распыления УВР-2.

Аппаратура. В лабораторную установку (см. рис) входят следующие элементы. Комплект оборудования промышленной установки вакуумного распыления УВР-2, смонтированный в общем шкафу-каркасе со следующими основными элементами. 1. Распылительный стенд со съемными колпаками и устройствами перемещения объектов. 2. Диффузионный насос ЦВЛ-100 с ловушкой. 3. Масляно-ротационный насос ВН-461. 4. Переключатель линий откачки, позволяющий откачивать колпак диффузионным или непосредственно механическим насосом. 5. Вакуумметр ВИТ-1 А и манометры ЛМ-2 и ЛТ-2. 6. Пульт управления установкой с приборами контроля и ручками регулировки. 7. Трансформаторный блок для питания нагревательных элементов распылителя. 8. Высоковольтный блок для питания

устройства катодного распыления. 9. Регулируемый натекатель. 10. Защитная сетка для стеклянных колпаков. 11. Клеммная доска переключения токового режима нагревателя.

Содержание работы.

1. При снятом колпаке установить по указанию преподавателя материал и объект для напыления термическим испарением.

2. Установить согласно инструкции клеммы на доске переключения в положение, необходимое для выбранного режима напыления.

3. Установить вакуумный колпак и включить насосы, произвести откачку установки до давления порядка 10^-5 тор.

4. Установить переключатели приборов и регуляторов на пульте управления УВР-2 в исходное положение по инструкции

5 С помощью автотрансформатора на пульте медленно установить необходимый ток накала испарителя, контролируя его по амперметру. При этом нужно следить за повышением давления и при необходимости временно уменьшить ток нагревателя для уменьшения десорбции и ускорения откачки.

6 В процессе напыления следует перемещать объект вращением ручки привода объектодержателя для поисков наилучшего положения и для равномерного запы-ления различных участков.

7. По окончании процесса отсоединить переключателем диффузионный насос, или остудить его и напустить с помощью натекателя воздух под колпак.

8 По указанию преподавателя сменить объект и электроды для дальнейшей работы.

9. Работа с катодным распылением производится в факультативном порядке.

Предупреждения. 1 С высоковольтным катодным распылением студенты работают только при непосредственном участии преподавателя или лаборанта. К работе студенты допускаются при условии знакомства с правилами техники безопасности при работе с высоким напряжением. 2. Стеклянные вакуумные колпаки необходимо обязательно закрывать защитной сеткой. 3. Не рекомендуется долго смотреть незащищенными глазами, на раскаленные детали распылителя.

Расход времени. Расход времени на работу составляет 2 ч 30 мин со следующим распределением. 1. Размещение объекта, откачка установки и обезгаживание нагревателя 1 ч 30 мин. 2. Напыление пленок в различных режимах 1 ч. На выполнение одного из факультативных заданий со сменой объектов и электродов требуется дополнительно 2 ч.