Существуют и другие области научных исследований и технологических разработок, использование сверхвысокого вакуума в которых необходимо или дает значительные преимущества. Например, масс-спектрометрия как метод анализа широко применяется в медицине (для анализа продуктов дыхания), в нефтехимической и даже в сталелитейной промышленности, где проводится анализ дымовых газов из доменных печей. В некоторых из этих областей применения необходимо определять малые количества примесей, что требует достаточно низкого фонового давления.

Хотя в настоящее время полупроводниковые электронные устройства играют преобладающую роль в электронике, существуют еще некоторые области применения, где электровакуумные приборы незаменимы. Полупроводниковые устройства с точки зрения мощности не могут конкурировать с некоторыми типами электровакуумных СВЧ-приборов, в частности для мощных передатчиков, а также с электронно-лучевыми трубками для крупноформатных дисплеев с высоким разрешением. Несмотря на значительные усилия, направленные на разработку твердотельных устройств, способных заменить указанные приборы, до сих пор они не привели к положительным результатам.

Поэтому исследование и разработка сверхвысоковакуумных приборов продолжаются и в настоящее время.Электровакуумные приборы также используются в качестве чувствительных датчиков света и устройств формирования изображения. В частности, для идентификации слабо освещенных объектов широко применяются усилители яркости.

Усилители яркости третьего поколения с фотокатодом из арсенида галлия, легированного цезием, характеризуются  на порядок выше чувствительности многощелочных фотокатодов, использовавшихся ранее. Такие высокие чувствительности могут быть достигнуты лишь при очень чистой поверхности GaAs, что можно получить только в условиях сверхвысокого вакуума.

Кроме электроники, сверхвысокий вакуум используется в различных научно-исследовательских работах, например при изучении пробоя в вакууме, атомно-молекулярных взаимодействий, разделении изотопов, изучении характеристик материалов и др. Значительное внимание уделяется исследованию физики и техники вакуума, а также методам измерения в условиях вакуума.

В заключение следует отметить, что быстрый прогресс вакуумной техники, начавшийся в 1950-х гг. с попыток улучшения вакуума в лабораторных установках, привел к бурному развитию некоторых производственных процессов. Хотя дальнейшее развитие вакуумной техники после 1960-х годов было более медленным, это не означает, что ее перспективы стали менее обещающими. Вне всякого сомнения, дальнейшее изучение физики явлений, протекающих в вакууме, приведет и в будущем к новым достижениям в науке и технологии.