В вакуумной технике под течеисканием понимается совокуп­ность средств, методов и способов обнаружения течей и установле­ния степени герметичности вакуумных систем.

Герметичность — свойство вакуумной системы, заключаю­щееся в непроницаемости для газов и жидкостей внешней оболочки, ограничивающей замкнутый объем.

Место нарушения сплошности оболочки называют течью. Это обычно микропоры в самом материале оболочки и в сварных швах, риски на рабочей поверхности фланцев и металлических уплотните­лей, образующие сквозной канал с выходом на обе стороны оболоч­ки. Величина течи, так же как и степень герметичности, характери­зуется потоком воздуха, перетекающего через течь в единицу време­ни при нормальных условиях.

В вакуумной технике количество газа, натекающего в систему, часто характеризуют произведением объема проникшего газа V на его давление Р. Количество газа, проникшего в систему, деленное на время натекания, определяет поток газа.

В системе СИ основными единицами объема, давления и време­ни являются метр кубический (м3), паскаль, равный ньютону, деленному на метр квадратный (Па = Н/м2), и секунда (с). Отсюда поток будет выражаться:

До настоящего времени в вакуумной технике, в частности в течеискании, еще широко применяется в качестве единицы изме­рения потока газа литр на микрон ртутного столба в секунду, равный 1,33•1O^-4 Вт.

Требования к степени герметичности вакуумной системы опре­деляются величиной максимально допустимою натекания в систему. При контроле герметичности изделия следует различать две основ­ные технологические операции.

1) контроль герметичности — технологическая опера­ция, служащая для установления степени герметичности изделия,

2) поиск течи — операция, заключающаяся в обнаружении и установлении мест расположения единичных течей.

Для установления степени герметичности системы с одной сторо­ны оболочки подают пробное вещество — газ или жидкость, легко выделяемые (идентифицируемые) в окружающей среде или в составе остаточного газа. С другой стороны, оболочки фиксируют появление и количественное изменение содержания пробного вещества.

По способу создания потока и идентификации пробного вещест­ва различают следующие методы контроля герметичности: метод опрессовки, люминесцентный метод, метод искрового разряда, мано­метрический метод, галогенный метод, масс-спектрометрический ме­тод [4] и некоторые другие. В вакуумной технике наибольшее рас­пространение получили масс-спектрометрический и манометрический методы в различных модификациях.

Манометрический метод наиболее прост и удобен для оценки степени герметичности вакуумной системы, имеющей собственные средства откачки и измерения давления, так как не требует спе­циального оборудование Для контроля герметичности может быть использован любой манометрический преобразователь, имеющийся в системе. Этим методом может быть определено суммарное натека­ние в систему и могут быть выявлены единичные течи.