Характеристики масс-спектрометрических течеискателей могут быть измерены и представлены различными способами. Однако для того чтобы можно было сравнивать оборудование, выпускаемое различными фирмами, должен существовать общий подход к определению параметров приборов.

Попытка разработки стандарта по проведению аттестации масс-спектрометрических течеискателей была предпринята Американским вакуумным обществом (AVS). Хотя окончательное соглашение до сих пор не достигнуто, предложенный метод является вполне удовлетворительным и используется многими фирмами.

Рис. 8.5. Общий вид серийного масс-спектрометрического течеискателя

Одним из наиболее важных параметров масс-спектрометрических течеискателей является минимальный поток пробного газа Qmhh, регистрируемый данным течеискателей. Величина Q_мин зависит от эффективной быстроты откачки насоса S, вакуумной системы течеискателя и минимального уверенно регистрируемого парциального давления пробного газа.

Иногда Q_мин называют чувствительностью, но в проекте стандарта, предложенном Международной организацией по стандартам (ISO), чувствительность определяют как отношение изменения сигнала на выходе усилителя анализатора к вызвавшему его изменению сигнала на входе. Таким образом, Q_мин представляет собой отношение минимального регистрируемого сигнала к чувствительности.

Минимальный регистрируемый сигнал принимается равным сумме флуктуации фонового сигнала и дрейфа системы в отсутствие пробного газа и измеряется в делениях шкалы выходного прибора, либо в качестве его принимается величина, равная 2% полной шкалы в наиболее чувствительном диапазоне выходного прибора. Чувствительность вычисляется по показаниям прибора, соответствующим известным скоростям натекания.

Проект стандарта устанавливает условия и методики измерения шума и дрейфа и определения чувствительности, а также преобразования информации в QMHH для воздуха с учетом фоновых помех, быстроты откачки и постоянной времени.

Перед проведением измерений течеискатель некоторое определенное время прогревается и одновременно откачивается, затем проводится его настройка для достижения оптимальной чувствительности по гелию.

Если быстрота откачки анализатора течеискателя регулируется, то необходимо, чтобы в процессе испытания выбранная быстрота откачки оставалась постоянной. Вначале в течение 20 мин с помощью самописца фиксируются флуктуации фонового сигнала и дрейфа. Максимальное смещение нулевой линии за 1 мин в делениях шкалы представляет собой дрейф сигнала, а удвоенная наибольшая амплитуда колебаний сигнала относительно нулевой линии — флуктуацию фонового сигнала. Ненормально большой однократный выброс за 20 мин испытания считается случайным и не принимается во внимание.