Для получения сверхвысокого вакуума парортутными диффузионными насосами два насоса должны включаться последовательно. Основной недостаток этих насосов в том, что ртуть агрессивна по отношению к большинству металлов. В то же время легче обеспечить прогревание парортутного насоса, чем паромасляного.

Ртутный агрегат РВА-1-2 для сверхвысокого вакуума может создавать предельное давление ниже 5•1O-10 мм рт. ст. в металлической системе.

При этом скорость откачки воздуха в диапазоне давлений 10^-7 —10^-9 мм рт. ст. составляет 200—650 л/с. Для водорода максимальная скорость откачки достигается при давлении 6•1O-9 мм рт. ст. и составляет 1800 л/с. Агрегат состоит из двух насосов: основного трехступенчатого высоковакуумного насоса со скоростью откачки 1200 л/с и вспомогательного насоса Н5СР-1 со скоростью откачки 600 л/с.

Конструкция обеспечивает возможность прогрева до 350—370° С всех элементов, расположенных над насосом, для их дегазации. Для этого все разъемные соединения выполнены с металлическими прокладками. Агрегат снабжен съемными электропечами для прогрева корпуса ловушки, вымораживающих устройств и углового патрубка, соединяющего насос с откачиваемой системой. Установленная между насосом и откачиваемым объемом азотная ловушка сконструирована таким образом, чтобы гарантировать полное улавливание паров ртути, которые сильно рассеиваются в ловушке из-за относительно высокого давления ртутного пара перед ловушкой.

Чтобы уменьшить попадание газа в высоковакуумный объем из струи рабочего пара (из-за растворения газа в рабочей жидкости при ее конденсации на стенках насоса), количество ступеней агрегата увеличено до семи. Благодаря этому уменьшается перепад давлений в каждой ступени и создаются струи малой плотности и высокой скорости; при этом миграция газа из струи уменьшается и противодиффузия оказывается незначительной. Так как агрегат состоит из двух отдельных насосов с разными кипятильниками, то количество газа, растворенного в конденсате рабочей жидкости основного насоса, существенно уменьшается. Между насосами установлены охлаждаемые водой ловушки, которые препятствуют перекачке ртути из одного насоса в другой.

Агрегат РВА-05-4 состоит из 500-литрового парортутного насоса П-5СР-1 с колпачковым отражателем и сдвоенной ловушкой. Фреоновая ловушка включается в работу лишь при непрерывной работе агрегата свыше двух недель. Через дополнительную ловушку, охлаждаемую жидким азотом, и прогреваемый затвор Ду-100 агрегат присоединен к откачиваемой системе. Последовательно за насосом Н-5СР-1 установлен вспомогательный парортутный насос ДРН-50 с наибольшим выпускным давлением 20 мм рт. ст., а в качестве насоса предварительного разрежения можно использовать водоструйный насос (или механический). Перед началом работы высоковакуумная часть агрегата при общем давлении —10^-3 мм рт. ст. прогревается в течение 48 ч при 400 С. После начала работы высоковакуумного насоса нагрев продолжается еще 12—20 ч, после чего электронагреватели снимаются. Наименьшее предельное давление в этом агрегате достигало 3-10^-13 мм рт. ст. Два насоса, установленные последовательно, позволяют уменьшить количество газа растворяемого в конденсате первого насоса (из форвакуума). 

Фирма Лейбольд (ФРГ) изготовляет металлические парортутные насосы для сверхвысокого вакуума Quick 103, 503 и 2003 с низкотемпературной ловушкой. Стеклянные насосы Q20 и Q31 из закаленного стекла можно припаивать непосредственно к аппаратуре.