К электрофизическим насосам (ЭФН) обычно относят все типы насосов поверхностного действия, в которых для создания и активации сорбирующих поверхностей используются электрический разряд в вакууме, резистивный и электронно-лучевой нагрев, потоки ускоренных заряжен-женных частиц, электромагнитное излучение. Как отмечается . эти механизмы позволили пересмотреть принципы построения вакуумных систем.

Для ЭФН характерно разнообразие физических принципов и сфер применения.

В вакуумных системах ускорителей и термоядерных установок электродные блоки электрофизических насосов встроены непосредственно в

откачиваемую камеру, дли их функционирования могут использоваться собственные электромагнитные поля установок или циркулирующие в них пучки заряженных частиц Такая компоновка позволяет полностью использовать быстроту дейс1вия, на два-три порядка снизить остаточное давление, при этом резко уменьшается стоимость и объем вакуумной системы

В настоящее время наибольшее распространение получили испарительные геттерно-ионные и распылительные геттерно-ионные(магнито-торазрядные) насосы Сравним их характеристики (табл.2 3)

Рассмотренным насосам свойственны недостатки в ряде случаев ограничивающие их практическое использование. От указанных недостатков свободны комбинированные насосы, обеспечивающие быстроту действия порядка сотен тысяч литров в секунду и более, возможность откачки систем в условиях переменных потоков газа различного спектрального состава , низкое предельное остаточное давление 10^-10 Па , достигаемое за более короткое время, материалоемкость 0,12-0,03 кг/л/с,более низкую стоимость откачки.

Селективность действия этих насосов по отношению к некоторым газам, затрудняющая их применение в ряде конкретных случаев, легко устраняется комбинированным применением их различных модификаций, а также параллельным использованием TMH или крионасоса

В табл 2.4 представлены данные обо всех рассмотренных высоковакуумных насосах