Основным элементом в таких системах являются средства откачки. Подбор средств откачки определяется многими факторами: с одной стороны, характеристиками технологического процесса и влиянием самого технологического процесса на вакуумное оборудование,а с другой -влиянием используемых средств откачки на технологический процесс и качество получаемого продукта. Исходя из этого, необходимо провести по возможности полный анализ технологического процесса, требований к целевому продукту, эксплуатационных характеристик откачного оборудования с целью выделения основных факторов, воздействующих на средства откачки, технологический процесс и конечный продукт.

В качестве примеров такого воздействия можно привести следующие

а) образование в вакуумной камере при проведении технологического процесса газовой среды, которая может содержать токсичные, горючие, взрывоопасные, канцерогенные, радиоактивные и вызывающие коррозию газы, влияющие не только на конструкционные, уплотнительные и смазочные материалы, рабочие тела откачного оборудования, но и на безопасность проведения работ и здоровье обслуживающего персонала (к таким процессам относятся плазменное травление, плазменное распыление, ионное осаждение и т.п.);

б) образование в ходе технологического процесса микроскопических твердых частиц, приводящих к поломке механических вакуумных насосов;

в) радиоактивное облучение, влияющее на работоспособность оборудования;

г)выделение больших количеств водяного пара,затрудняющих (или даже приводящих к взрыву) работу некоторых вакуумных насосов;

д) высокая (или низкая) температура проведения технологического процесса, влияющая на характеристики насоса и свойства материалов;

е) циклическое изменение давления в вакуумной камере, что может привести к срыву работы и выходу из строя вакуумного насоса; ж) возникновение в насосе магнитного поля, которое может привести к нарушениям в технологическом процессе и снижение качества продукта; з) проникновение частиц вакуумных рабочих жидкостей и других частиц из вакуумных насосов в вакуумную камеру и осаждение этих молекул как на технологическом оборудовании, так и на продукте; и) так называемая "память" вакуумного насоса по газам, то есть наличие в насосе газов, не участвующих в данном технологическом процессе, а оставшихся там от предыдущих циклов работы, что может привести к нежелательным последствиям, если эти газы прореагирует с газами данного процесса.

Сказанное выше показывает первоочередность учета при выборе откачного оборудования факторов, воздействующих на технологический процесс. Далее, исключив типы вакуумных насосов, не пригодных для данного технологического процесса, можно переходить к проектировании вакуумной системы, исходя из эксплуатационных характеристик откачного оборудования Эта вторая задача является не менее сложной и не менее ответственной.