Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Откачка вакуумных систем |
В целом о вакууме и вакуумных системах - Особенности вакуумных систем | |||||
Cтраница 1 из 3 Быстрота действия вакуумного насоса. Удаление газа из объема осуществляется насосом. Большинство насосов обычно работает непрерывно, поэтому при постоянном расходе газа Q и неизменном давлении внутри насоса р возникает установившийся режим откачки. Величина (1.26) является мерой откачивающей способности данного насоса и называется быстротой действия вакуумного насоса. Для большинства насосов этот параметр практически постоянен во всем рабочем диапазоне давлений. Из выражения (1.26) видно, что быстрота действия вакуумного насоса имеет размерность проводимости, а именно м3*с-1. Если насос соединен с вакуумной камерой трубопроводом, имеющим проводимость С, то эффективная быстрота откачки вакуумной камеры может быть определена следующим образом. Поток газа через трубопровод (канал) проводимостью С создает перепад давления, определяемый из выражения (1.17): (1.27) где p1 и р2 — давления в камере и на входе в насос соответственно. Поток газа в насосе определяется из соотношения (1.26): (1.28) Выражение для эффективной быстроты откачки вакуумной камеры имеет вид (1.29) Исключая Q1 р1 и р2, получим (1.30) откуда следует, что при постоянной проводимости С и любой быстроте действия вакуумного насоса S0 максимально достижимая эффективная быстрота откачки камеры не превышает С. Откачивающая способность насоса может быть реализована полностью только в том случае, если насос непосредственно подсоединен к вакуумной камере. Если же C=S0, то S = S0/2. |
= | |