|
В целом о вакууме и вакуумных системах -
Особенности вакуумных систем
|
|
Состав остаточного газа в рабочей камере зависит от типа насоса, как уже отмечалось, конструкции рабочей камеры (например, применение металлических или эластомерных прокладок) и проводимого в ней технологического процесса.
Ниже приведены возможные источники газов и необычных пиков в масс-спектре остаточного газа, что может помочь в определении причин ухудшения работы установки. В приведенной табл. 3.1 указаны массовые числа пиков масс-спектра, соответствующие им газы и источники их попадания в камеру.
Таблица 3.1 Источники газов в масс-спектре остаточного газа
|
Массовое число
|
Газ
|
Источник
|
|
1
|
2
|
3
|
|
2
|
Водород
|
Основной компонент в сверхвысоковакуумных системах
Газовыделение из материалов конструкций, сорбировавших его ранее
Диссоциация паров воды и вакуумных рабочих жидкостей
•
|
|
4
|
Гелий
|
Газовыделение из эластомеров
Остается после поисков течи гелиевым тече-
искателем
Проницаемость через эластомеры и стекло
|
|
16
|
Кислород
|
Стимулированная электронной бомбардировкой десорбция из ионных источников масс-спектрометров
|
|
13,14,15,16 Метан
|
Синтезируется в вакуумных системах, откачиваемых магниторазрядными и испарительно-ионными насосами
Не откачивается испарительно-ионным насосом
|
|
17
|
Аммиак
|
Когда пик 17 вышэ, чем пик 18, есть подозрение на течь
Натекающий азот реагирует с остаточным водородом с образованием аммиака
|
|
16,17,18
|
Вода
|
Газовыделение хемосорбированней воды с внутренних поверхностей. Преобладает в спектре остаточного газа непрогреваемых систем
|
|
19 23
35,37 39
|
Фтор Натрий Хлор Калий
|
Стимулированная электронной бомбардировкой десорбция из ионного источника масс-спектрометра
|
|
20.22
|
Неон
|
Неон и его изотопы
|
|
28 28
|
Оксид углерода
Азот
|
Синтезируется на накаленных нитях
Возможное натекание (может быть и внутренняя течь) из атмосферы подтверждается пиком 14
|
|
30
|
Оксид азота
|
Реакция азота и кислорода на накаленных нитях
|
|
30
|
Этан
|
Углеводородные загрязнения
|
|
32
|
Кислород
|
Необычно высокий пик 32 указывает на натекание
|
|
33,37
|
Хлор
|
Десорбция из ионного источника масс-спектрометра
|
|
36,38
|
Хлорид водорода
|
Реакция водорода и хлора
|
|
40
|
Аргон
|
Натекание - обычно большой пик в вакуумных системах с магниторазрядными насосами
|
|
22,44
|
Двуокись углерода
|
Десорбция с внутренних поверхностей системы Синтез на накаленных
нитях Концентрация СО, обычно вше в вакуумных системах с
испарительно-ионными насосами из-за реакции СО и кислорода с
образованием СО, на накаленных нитях
|
|
16 30 44 58
|
Углеводород- ные
загрязнения
|
Углеводородные загрязнения из насосов с масляным уплотнением
|
|
41,43
|
|
Разложение углеводородных пластиков
|
|
58
|
Ацетон
|
Индивидуальный масс-спектр:
19 43 58
20 100 27 %
|
|
130
|
Трихлор-
этилен
|
Индивидуальный масс-спектр: 60 95 130 132 65 100 89 85 %
|
|
446
|
Полифе -ниловый эфир
|
Индивидуальный масс-спектр: 39 51 77 446 10 29 79 100 54%
|
|