Согласно ГОСТ 5197-85 предельное остаточное давление вакуумного насоса - давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без впуска газа и при нормально работающем насосе. В связи с этим все устанавливаемые нормативными документами методики испытания насосов на определение предельного остаточного давления основаны на измерении давления в стандартизованной камере через определенные промежутки времени.

Предельное остаточное давление вакуумного насоса

(4.8)

зависит от величины Qс (суммарный поток газовыделения и натекания, имевшийся в измерительной камере). В сьою очередь, величина Qс определяется большим числом факторов: десорбцией различных газов со стенок; испарением различных веществ, находящихся в испытательном объеме (воды, рабочей жидкости и продуктов ее разложения и т.п.); натеканием атмосферных газов извне через микротрещины и уплотнения; обратным потоком откачиваемого газа и т.п.

В связи с этим значения предельного остаточного давления идентичных насосов, определяемые при испытаниях на одном и том же стандартном стенде,будут различными в зависимости от многих условий: степени обезгаживания поверхностей, типа используемых уплотнений, вида рабочей жидкости, степени охлаждения маслоотражателя насоса и стенок насоса зо входном канале, степени технологической подготовки камеры и входящих в нее злементов(промывка, очистка) и др.

Эти условия в большей части не описываются в информационных материалах л не регламентируются в стандартах на методики испытаний. Следовательно, объективное сравнение технического уровня диффузионных насосов по предельному остаточному давлению только на основании литературных данных не представляется возможным.

Таким образом, проведенный анализ свидетельствует о том, что объективная оценка технического уровня высоковакуумных насосов зависит от используемой методики испытаний, достоверности и формы представления количественных характеристик в различных информационных материалах.