| Свойства вакуума |
| Особенности вакуумных систем |
| контрольно-измерительная аппаратура |
| Течеискатели |
| Вакуумные материалы |
| Уплотнители и и смазки |
| Вакуумные вентили и переходники |
| Запорные устройства |
| Способы соединения вакуумных систем |
| Общие принципы |
| Подбор вакуумных насосов |
| Масляные средства откачки |
| Вакуумометрические приборы |
| Вакуумные установки |
| Сорбционные средства откачки |
| Физические явления в вакууме |
| Вакуумные системы с малыми циклами |
| В целом о вакууме и вакуумных системах - Особенности вакуумных систем |
|
Для увеличения производительности вакуумной установки высоковакуумные системы могут иметь малые циклы загрузки-разгрузки, т. е. запуск атмосферы при разгрузке и затем быстрая откачка вакуумной камеры. С этой целы можно использовать диффузионные, турбомолекулярмые и криогенные системы, обеспечив напуск сухого воздуха, минимальное время загрузки, правильную работу установки и снижение газовыделения (работая в перчатках). Магниторазрядные насосы для такой цели непригодны. В сверхвысоковакуумных системах нельзя проводить малые циклы, так как после каждого напуска атмосферы надо осуществлять прогрев для восстановления сверхвысокого вакуума. В таких системах загрузка производится без напуска воздуха (через шлюзы).Для этого надо иметь несколько камер. Безопасная и надежная загрузка образцов в сверхвысоковакуумные системы - быстро развивавшаяся отрасль вакуумной технологии.
|
| = | |