Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Вакуумные системы с малыми циклами |
В целом о вакууме и вакуумных системах - Особенности вакуумных систем |
Для увеличения производительности вакуумной установки высоковакуумные системы могут иметь малые циклы загрузки-разгрузки, т. е. запуск атмосферы при разгрузке и затем быстрая откачка вакуумной камеры. С этой целы можно использовать диффузионные, турбомолекулярмые и криогенные системы, обеспечив напуск сухого воздуха, минимальное время загрузки, правильную работу установки и снижение газовыделения (работая в перчатках). Магниторазрядные насосы для такой цели непригодны. В сверхвысоковакуумных системах нельзя проводить малые циклы, так как после каждого напуска атмосферы надо осуществлять прогрев для восстановления сверхвысокого вакуума. В таких системах загрузка производится без напуска воздуха (через шлюзы).Для этого надо иметь несколько камер. Безопасная и надежная загрузка образцов в сверхвысоковакуумные системы - быстро развивавшаяся отрасль вакуумной технологии.
|
= | |