| Свойства вакуума |
| Особенности вакуумных систем |
| контрольно-измерительная аппаратура |
| Течеискатели |
| Вакуумные материалы |
| Уплотнители и и смазки |
| Вакуумные вентили и переходники |
| Запорные устройства |
| Способы соединения вакуумных систем |
| Общие принципы |
| Подбор вакуумных насосов |
| Масляные средства откачки |
| Вакуумометрические приборы |
| Вакуумные установки |
| Сорбционные средства откачки |
| Физические явления в вакууме |
| Геттерно-ионные насосы |
| Разное - Применение вакуумной техники | ||||
Cтраница 2 из 2
Постоянство характеристик геттерно-ионного насоса во многом определяется постоянством скорости испарения титана. Чтобы получить (постоянную во времени скорость испарения титана, необходимо по мере уменьшения запаса титана изменять мощность, подводимую к испарителю. На рис. 4-11 показан график изменения мощности испарителя, позволяющего испарить около 90% запаса титана в испарителе с постоянной скоростью 0,12 мг/мин в течение 500 ч работы.
Однако в реальных условиях эксплуатации использование испарителя при количествах титана в нем менее 30% первоначального его содержания (на рисунке обозначено пунктирной линией) нецелесообразно, так как это сопряжено с большим газовыделением и соответственно с понижением быстроты действия. В процессе работы геттерно-ионного насоса вне зависимости от режима работы испарителя режим работы ионизатора следует ![]()
поддерживать номинальным. На рис. 4-12 показано изменение быстроты действия насоса в зависимости от изменения анодного напряжения при прочих равных условиях. Качественно такая зависимость сохраняется при любой скорости испарения титана. Если давление в системе превышает 10-2 Па (10-4 мм рт. ст.), ионизатор должен быть выключен во избежание перегорания катода. В процессе эксплуатации геттерно-ионных насосов, так же как и геттерных насосов, необходима периодическая чистка корпуса насоса от пленок титана. Необходимая периодичность чистки определяется режимом работы насоса, рабочим давлением, количеством напусков атмосферного воздуха, количеством прогревов установки и т д. Рекомендуется чистить насос после полного испарения трех-четырех блоков испарителей. Требования техники безопасности при чистке корпуса геттерных и геттерно-ионных насосов одинаковы.
Наиболее частым видом отказа геттерно-ионного насоса является замыкание электродной системы по изоляторам в результате их запыления титаном. Частота отказов выше, если насос в основном работает при высоких впускных давлениях. При каждой чистке корпуса насоса необходимо проверять сопротивление утечки изоляторов. При каждой второй чистке корпуса насоса целесообразно восстанавливать электрическую проч ![]()
ность изоляторов. Механическая очистка изоляторов от запыления, как правило, не дает результата. Изоляторы лучше протравить в плавиковой кислоте. Работая с плавиковой кислотой, необходимо соблюдать требования техники безопасности при работе с агрессивными жидкостями и кислотами.
Другим часто встречающимся видом отказа является обрыв катода или анодов ионизатора В процессе работы при нагреве они становятся хрупкими и от сильного сотрясения могут оборваться. Если это произошло, катод заменяют новым, а анод соединяют втулкой.
Требования к системе охлаждения геттерно-ионных насосов такие же, как и требования к системе охлаждения паромасляных насосов.
|
| = | |