Поток газа. Процесс откачки подразумевает удаление некоторой массы газа из вакуумируемого сосуда. Скорость откачки, или поток газа, определяется скоростью, с которой уменьшается давление в сосуде.

Если первоначально сосуд содержал N молекул массой m каждая, то скорость изменения массы газа в сосуде равна

(1.12)

Подставляя выражение для N из (1.1), получим

(1.13)

В реальных условиях можно считать, что в процессе откачки ни сам газ, ни его температура не изменяются, поэтому

(1.14)

Величины давления и температуры легко измеряются, поэтому поток газа Q удобно выразить в виде

(1.15)

Таким образом, измеряя Q в каждом конкретном случае при постоянных m и Т, можно определить массовый расход газа:

(1.16)

где Q измеряется в Па*м^3*с^-1.