На рис. 442 показан натекатель для относительно грубого регулирования давления в системе. В седле 2 натекателя проточена канавка радиусом 1 мм, и на двух противоположных сторонах диаметра канавки просверлены отверстия диаметром 0,8 мм.

При закрытом вентиле резиновая диафрагма 4 целиком заполняет кольцевую выточку в седле и не пропускает газ. Если ослаблять нажим на резиновую диафрагму, то резина постепенно освобождает канавку и газ начинает перетекать от одного отверстия к другому. Затем образуется минимальный сквозной канал, в результате чего натекатель начинает пропускать заметное количество газа (около 1*10^-7 л/с). Далее пропускная способность вентиля регулируется плавно до максимального открытия клапана.

В натекателе, показанном на рис. 443, применена фторопластовая прокладка 3 с кольцевой выточкой радиусом 0,5 мм, уплотненной в закрытом состоянии резиновым клапаном 2. При плавном открытии вентиля в первую очередь образуется течь по отверстию с в клапане. При дальнейшем открытии газ течет по всей окружности уплотнителя. Такой вентиль обеспечивает плавную подачу газа в установку.

Натекатель VLV-3 для сверхвысокого вакуума фирмы Ульвак (Япония) показан на рис. 444. Натекатель изготовлен из аустенитной коррозионно-стойкой стали и вольфрамового сплава и имеет в закрытом состоянии пропускную способность менее 10^-11 л/с. В полностью открытом состоянии пропускная способность его составляет ~1 л/с. Натекатель допускает прогрев до 250° С в открытом и закрытом состоянии и при входном давлении 760 мм рт. ст. может обеспечить натекание от 10^-10 до 10^-3 мм рт. ст.•л/с.

Для напуска воздуха в установки перед их вскрытием служат специальные краны, которые открываются и закрываются поворотом рукоятки на 180° с помощью эксцентрика. Кран имеет сменный фильтр для защиты внутреннего объема установки от попадания пыли во время напуска воздуха. Шаровой кран (рис. 445) может применяться как с ручным, так и с дистанционным управлением. Он надежно работает при давлении 1 •1O^-3 мм рт. ст. (при наличии атмосферного давления с любой стороны крана). Проходное отверстие от 4 до 200 мм. Допускается прогрев до 150° С и выше. Шар 6 имеет сквозное цилиндрическое отверстие и рукояткой может поворачиваться на 90°.