В сильфонном вентиле клапан при помощи сильфона герметично соединен с крышкой вентиля, чем достигается герметизация внутренней полости. На рис. 422 показан сильфонный вентиль с резиновым уплотнением между седлом и клапаном. Один край сильфона припаян к крышке, другой — к клапану. Пайка производится мягким припоем сплошным вакуумным швом. Просверленное в крышке корпуса сквозное отверстие диаметром 1,5 мм соединяет внутреннюю полость сильфона с атмосферой. Это отверстие необходимо для проверки герметичности поворотного механизма после его окончательной сборки. Такие вентили обычно применяют до диаметра проходного отверстия 100 мм.

Вентили РП (рис. 423, с) с ручным управлением можно устанавливать в любой части ,системы (как в области предварительной откачки, так и в области высокого вакуума), но среда, находящаяся в вакуумной системе, не должна воздействовать на материал конструкции. Механическая прочность деталей вентилей обеспечивает герметичность перекрытия вакуумных коммуникаций в диапазоне давлений от 760 до 1 • 1O^{- 6} мм рт. ст. при температуре от 5 до 25° С. Гарантированное число открытий и закрытий составляет 10000. Герметичное уплотнение обеспечивается при атмосферном давлении с любой стороны клапана.

Корпус вентиля — сварной из стали 20, сильфон — из стали Х18Н10Т. Сильфон соединен с крышкой и клапаном шовной роликовой сваркой. Уплотнение из вакуумной резины 7889. Техническая характеристика вентилей РП приведена в табл. 98.

Таблица 98

Вентили ЭР-1У эксцентриковые с ручным управлением имеют пределы рабочих давлений от 760 до 5*10^-6 мм рт. ст. и рабочие температуры от 5 до 25° С. Вентили состоят из корпуса с двумя присоединительными фланцами (см. рис. 423, б) и ручного быстродействующего эксцентрикового привода, изолированного от вакуумной полости металлическим сильфоном.

Материал деталей тот же, что и у вентилей РП. Вентили могут работать в любом положении при атмосферном давлении с любой стороны клапана. Гарантированное число открытий и закрытий также 10 000. Техническая характеристика вентилей ЭР-1У приведена в табл. 99.

Таблица 99

Примечание. Материал уплотнителя рабочего окна — вакуумная резина 7889.

В качестве уплотняющего материала для вентилей, работающих при температуре до 60° С и при давлении не ниже 1*1O-6 мм рт. ст., можно использовать, как указывалось, листовую шлифованную резину 7889, а также формовую литую резину марок 9024, 1015. Уплотнители из резины марки 1015 более износоустойчивы, маслостойки и надежны в эксплуатации. Распространены также вентили с уплотнением из фторопласта. При фторопластовом уплотнении можно расширить диапазон рабочих температур (от —200 до 200° С.

Угловые вентили УРС (рис. 424) сильфонные, с ручным управлением. Корпус и сильфон изготовлены из коррозионностойкой стали, уплотнение из фторопласта-4. Вентили при снятом маховичке привода можно прогревать до 140° С. Гарантированное число открытий-закрытий — 5000. Технические характеристики вентилей УРС приведены ниже:

На рис. 425 показан дроссельный вентиль прямого исполнения с Ду 32 мм, позволяющий плавно регулировать давление. Для достижения плавного изменения усилия сжатия клапанный уплотнитель двухслойный (резина — фторопласт). Масса вентиля 2,5 кг, усилие на маховике 39,2 H (4 кгс). Размеры вентиля в мм: H = 146, D = 70, h = 32, Zi1 = 8, L = ПО, Z = 120, К = 92, t = 12, f = 9.

Если установка работает при очень высокой или очень низкой температуре, а также если необходимо поддерживать очень высокий вакуум, применяют металлическую прокладку между седлом и клапаном. В таких вентилях уплотнение достигается плотным прилеганием конического клапана к цилиндрическому седлу

При этом сменный клапан делают из мягкого металла (меди, никеля, реже латуни), а седло — из твердого материала (закаленной стали). Однако вентили с металлической прокладкой успешно работают только при диаметре проходного сечения до 25 мм, так как незначительные перекосы клапана по отношению к седлу, дефекты обработки уплотняемых плоскостей и слишком сильное зажатие клапана вентиля, ведущее к смятию седла, делают вентиль негерметичным и требуют его ремонта.