Общие сведения. Процесс откачки рабочей камеры до предельного вакуума можно разделить на две стадии. На первой осуществляется удаление основного количества газа с помощью насоса предварительного разрежения (форвакуумного насоса) до давления порядка 10 Па.

На второй стадии посредством высоковакуумных насосов удаляется не только оставшийся газ, но и газ, адсорбированный деталями установки.

На рис. 7.2 представлена зависимость pt от времени в логарифмических координатах, рассчитанная для камеры объемом 1 м³ при быстроте откачки 1 м³*с^-1 и начальном давлении 101,3 кПа. Продолжительность откачки рабочей камеры произвольного объема для достижения заданного давления pt определяется умножением соответствующего времени на величину отношения V/S в предположении постоянства быстроты откачки камеры во всем диапазоне давлений.

Рис. 7.2 Уменьшение давления в камере объемом 1 м3, откачиваемой насосом с быстротой действия 1 м³*с^-1.

При давлениях, близких к атмосферному, реализуется вязкостный режим, а течение газа и проводимость зависят от давления в вакуумпроводе. В этом случае проводимость длинного вакуумпровода описывается уравнением

(7.2)

где г — радиус вакуумпровода, L — его длина, ц — коэффициент вязкости газа, р — среднее давление газа в вакуумпроводе. При более низких давлениях течение газа является свободно-молекулярным, а проводимость задается уравнением (1.24):

(7.3)