Течи в вакуумной камере. Если в вакуумной камере имеются какие-либо негерметичности, то атмосферный воздух будет поступать извне в камеру.

Поэтому необходимо стремиться к уменьшению числа и размеров течей с тем, чтобы общая скорость натекания газа, по крайней мере, не превышала произведения эффективной быстроты откачки на давление. Допустимые значения Q_BX для рассмотренного в разд. 3 примера приведены в табл. Большинство твердых материалов, в которых отсутствуют какие-либо дефекты, в достаточной степени газонепроницаемо. Течи возникают, как правило, в местах соединения различных частей вакуумной системы, которые могут быть изготовлены как из одинаковых, так и из разных материалов. Для соединения металлов обычно используют сварку либо пайку твердыми или мягкими припоями. Эти методы позволяют получать высококачественные вакуумные соединения.

Соединения типа стекло — стекло или стекло — металл осуществляются методом сварки. Для материалов, которые невозможно соединить указанными методами, обычно применяют разъемные соединения с уплотнениями в виде прокладок, изготовленных из эластомер-ных материалов, мягких металлов или даже с помощью различных клеев, обладающих достаточно низким давлением паров.

Для контроля вакуумных систем широко используются гелиевые течеискатели, которые обладают очень высокой чувствительностью. Гелиевый течеискатель обладает чувствительностью' порядка 1O^-12 Па •м³*c^-1; это позволяет эффективно контролировать сверхвысокий вакуум (~10^-9 Па). Однако следует учитывать, что перепады давления, температуры и механические колебания системы могут привести к возникновению в соединениях деформаций и напряжений, которые в свою очередь могут нарушить герметичность системы. Поэтому весьма важно использовать такие способы изготовления вакуумных соединений, которые обеспечивали бы их вакуумную плотность в условиях эксплуатации.