Причиной диффузии газа в материале стенки становится наличие градиента концентрации растворенного в стенке газа. Однако градиент концентрации газа может быть вызван и разностью давлений на стенках вакуумного сосуда.

Количество газа, растворенного в твердом теле, находящемся в газовой среде при давлении р, обычно подчиняется закону Генри для малых концентраций:

(1.58)

где S — коэффициент растворимости. Для большинства газов я=1; однако для двухатомных газов, которые при растворении в металлах диссоциируют, п= 1/2.

Установившийся поток газа сквозь, стенку камеры при наличии перепада давления, согласно первому закону Фика, определяется соотношением

(1.59)

Интегрируя это выражение методом разделения переменных, получим

(160)

где d — толщина стенки камеры, a с1 и с2 — концентрации газа на поверхностях, граничащих с вакуумом и атмосферой соответственно. Выражая концентрации с помощью закона Генри (1.58), определим Q:

(1.61)

где DS — так называемый коэффициент проникания. Поскольку и D, и S экспоненциально зависят от температуры, коэффициент проникания очень быстро возрастает с повышением температуры.

Вообще говоря, для большинства сочетаний газ — стенка при комнатной температуре этот эффект незначителен, за исключением случая проникания, гелия сквозь различные стекла. Тем не менее следует учитывать, что нагрев вакуумной камеры, используемый для поверхностного и объемного обезгаживания стенок, может приводить к натеканию газа в вакуумную систему вследствие его проникновения сквозь стенки.